¹ÝµµÃ¼ ¾÷°è°¡ ¹Ì¼¼°øÁ¤ ºÐ¾ßÀÇ ¿À·£ ±â¼ú °úÁ¦¸¦ ÇØ°áÇϱâ À§ÇØ ±ØÀڿܼ±(EUV) ³ë±¤Àåºñ µµÀÔ¿¡ ¹ÚÂ÷¸¦ °¡ÇÑ´Ù. »ï¼º°ú SKÇÏÀ̴нº¸¦ ºñ·ÔÇØ ÀÎÅÚ°ú ´ë¸¸ TSMC µîÀº ÇöÀç EUV Àåºñ¸¦ ±¸ÀÔÇ߰ųª ÇâÈÄ µµÀÔÇÒ ¿¹Á¤ÀÎ °ÍÀ¸·Î ¾Ë·ÁÁ³´Ù.
ÀÌ·Î½á ¾÷°è´Â EUV¸¦ ÅëÇÑ ¹Ì¼¼°øÁ¤ ±â¼ú°³¹ß¿¡ ¸ÅÁøÇØ ¸ÓÁö¾Ê¾Æ 'ãêÀÇ ¿µ¿ª'ÀÎ 2³ª³ë¹ÌÅÍ(nm) 'ÃÊ(õ±)¹Ì¼¼°øÁ¤' ½Ã´ë¸¦ ¿°Ú´Ù´Â ¸ñÇ¥´Ù.
9ÀÏ ¾÷°è¿¡ µû¸£¸é ±Û·Î¹ú ¹ÝµµÃ¼ ±â¾÷µéÀº ÀÚ»ç ¹ÝµµÃ¼ »ý»ê¶óÀο¡ EUV °øÁ¤ ¹æ½ÄÀ» µµÀÔÇϱâ À§ÇØ ³ë±¤Àåºñ ±¸¸Å¿¡ ÁÖ·ÂÇÏ°í ÀÖ´Â °ÍÀ¸·Î ¾Ë·ÁÁ³´Ù.
ƯÈ÷ »ï¼ºÀüÀÚ´Â Áö³´Þ 23ÀÏ °æ±âµµ ȼºÄ·ÆÛ½º¿¡ Âø°øÇÑ EUV Àü¿ë °øÀåÀ» ³»³â ÇϹݱâ±îÁö ¿Ï°øÇÑ´Ù´Â °èȹ¿¡ ¸ÂÃç ½Å¼ÓÈ÷ Àåºñ¸¦ »çµéÀÌ°í ÀÖ´Ù.
ASML EUV ³ë±¤Àåºñ. (»çÁø=ASML)
¡á ¹ÝµµÃ¼ ²ÞÀÇ ±â¼ú EUV¿¡ ¾÷°è '·¯ºêÄÝ'
EUV´Â ¹ÝµµÃ¼ ĨÀÇ ¿øÀÚÀçÀÎ ¿þÀÌÆÛ¿¡ ºûÀ¸·Î ȸ·Î¸¦ ±×¸®´Â Æ÷Åä ¸®¼Ò±×·¡ÇÇ ±â¼úÀÌ´Ù. ±ØÀڿܼ± ÆÄÀåÀÇ ±¤¿øÀ» »ç¿ëÇØ ¿þÀÌÆÛ¿¡ ¹Ì¼¼ÇÑ È¸·Î¸¦ »õ±â´Â ¹æ½ÄÀÌ´Ù. EUV Àåºñ´Â ±×µ¿¾È ¹Ì¼¼°øÁ¤¿¡ »ç¿ëµÆ´ø ºÒȾƸ£°ï(ArF) ±¤¿ø ´ëºñ ÆÄÀåÀÌ Âª´Ù´Â ÀåÁ¡À» Áö´Ñ´Ù. ÃÖ±Ù ¾÷°è°¡ 10³ª³ë ÀÌÇÏ ´ÜÀ§ÀÇ ¹Ì¼¼°øÁ¤ °æÀï¿¡ ¶Ù¾îµé¸é¼, EUV´Â ¼¼¹ÐÇÑ È¸·Î¸¦ ±¸ÇöÇϱâ À§ÇÑ ÇʼöÀç·Î º¯¸ðÇß´Ù.
ƯÈ÷ EUV´Â °Å¿ïÇü ³ë±¤±â¼úÀÎ ±âÁ¸ ½ÉÀڿܼ±(DUV)°ú ´Þ¸® ¹Ý»çÇü Àåºñ¶ó´Â Á¡¿¡¼ °¨±¤, ½Ä°¢ µî ¹ÝµµÃ¼ °øÁ¤ Àü ºÐ¾ßÀÇ º¯È¿¡ ¿µÇâÀ» ¹ÌÄ¥ Àü¸ÁÀ̶õ °Ô ¾÷°èÀÇ ºÐ¼®ÀÌ´Ù. ±×µ¿¾È ¾²¿©¿Ô´ø DUV´Â ÇØ»óµµÀÇ ÇÑ°è°¡ 30nm¿¡ ºÒ°úÇÏ´Ù. ÀÌ¿¡ ¾÷üµéÀº ¹Ì¼¼°øÁ¤À» À§ÇØ 2¹è, 4¹è ÆÐÅÍ´×(Á¤ÇüÈ) µî º¹ÀâÇÑ ±â¹ýÀ» »ç¿ëÇØ¿Ô´Ù. ÀÌ´Â ÀÚ¿¬½º·¹ ¾÷üµéÀÇ »ý»ê¼º ÀúÇÏ¿Í ¿ø°¡ »ó½ÂÀÇ ¿äÀÎÀÌ µÆ´Ù.
Àåºñ È®º¸¿¡ °¡Àå Àû±ØÀûÀÎ ±â¾÷Àº »ï¼ºÀüÀÚ´Ù.
¾÷°è ÇÑ °ü°èÀÚ´Â "»ï¼ºÀº ´çÃÊ ¾Ë·ÁÁ³´ø °èȹº¸´Ù ´õ ½Å¼ÓÈ÷ EUV ³ë±¤Àåºñ¸¦ µµÀÔÇÏ°í ÀÖ´Ù. ÀÌ´Â Àåºñ ±¸µ¿¿¡ ¾Õ¼ ÁغñÇÒ ½Ã°£À» ¹ú±â À§ÇÑ ¸ñÀûÀ¸·Î º¸ÀδÙ"¸ç "ASML(³×´ú¶õµåÀÇ EUV ³ë±¤Àåºñ ¾÷ü)Àº Áö³ÇØ »ï¼ºÀüÀÚ·Î ÃßÁ¤µÇ´Â ±â¾÷À¸·ÎºÎÅÍ Àåºñ 6´ë¸¦ ¼öÁÖÇß´Ù. ¶Ç »ï¼ºÀº ÇâÈÄ 10´ë ÀÌ»óÀÇ Àåºñ¸¦ È®ÃæÇÒ °ÍÀ¸·Î Àü¸ÁµÈ´Ù"°í ¸»Çß´Ù.
NHÅõÀÚÁõ±Ç¿¡ µû¸£¸é ASMLÀº Áö³ÇØ 1ºÐ±âºÎÅÍ EUV ³ë±¤Àåºñ¸¦ ¼öÁÖÇϱ⠽ÃÀÛÇØ Áö³´Þ ±âÁØÀ¸·Î º»°ÝÀûÀ¸·Î Àåºñ ÃâÇϸ¦ ½ÃÀÛÇß´Ù. ÀÌ È¸»ç´Â Áö³ÇØ 4ºÐ±â¿¡ EUV Àåºñ 4´ë¸¦ ÃâÇÏÇÑ µ¥ À̾î 10´ë¸¦ Ãß°¡ ¼öÁÖÇÑ ¹Ù ÀÖ´Ù.
EUV ³ë±¤Àåºñ´Â ASML°¡ Àü ¼¼°è¿¡¼ À¯ÀÏÇÏ°Ô Á¦ÀÛÇØ ÆǸÅÇÑ´Ù. ¾÷°è¿¡ µû¸£¸é Àåºñ °¡°ÝÀº ´ë´ç 1õ500¾ï¿øÀÌ´Ù. EUV ³ë±¤Àåºñ 10´ë ÀÌ»óÀ» »çµéÀÌ·Á¸é 1Á¶5õ¾ï¿øÀ» »óȸÇϴ õ¹®ÇÐÀûÀÎ µ·ÀÌ ÇÊ¿äÇÏ´Ù´Â °è»êÀÌ ³ª¿Â´Ù. ±×·³¿¡µµ ºÒ±¸, »ï¼º »Ó¸¸ ¾Æ´Ï¶ó ÀÎÅÚ°ú TSMC ¿ª½Ã Àåºñ ±¸ÀÔ¿¡ Àû±Ø ³ª¼°í ÀÖ´Ù.
»ï¼ºÀüÀÚ È¼ºÄ·ÆÛ½º EUV¶óÀÎ Á¶°¨µµ.(»çÁø=»ï¼ºÀüÀÚ)
¡á EUV·Î 'ÆÄ¿îµå¸® ½ÅÀÛ·Î' ¶Õ´Â´Ù
»ï¼ºÀüÀÚ´Â 7³ª³ë °øÁ¤ÀÇ ½Ã½ºÅ۹ݵµÃ¼ »ý»ê ¶óÀο¡ EUV Àåºñ¸¦ ¿ì¼±ÀûÀ¸·Î µµÀÔÇÑ´Ù. À̾î EUV´Â ¸ÓÁö¾Ê¾Æ ¸Þ¸ð¸®¹ÝµµÃ¼ »ý»ê¶óÀο¡µµ »ç¿ëµÉ Àü¸ÁÀÌ¾î¼ ½Ã½ºÅ۹ݵµÃ¼¿Í ¸Þ¸ð¸®ÀÇ ±â¼úÀûÀÎ ÇÑ°è¿¡ ºÎµúÈù ¾÷°è¿¡ ±¸¿øÅõ¼ö°¡ µÉ °ÍÀ¸·Î º¸ÀδÙ.
µµÇö¿ì NHÅõÀÚÁõ±Ç ¿¬±¸¿øÀº "»ï¼ºÀüÀÚ´Â EUV ³ë±¤Àåºñ¸¦ ½Ã½ºÅÛLSI¿¡ Àü¼¼°è ÃÖÃÊ·Î ¾ç»ê µµÀÔÇÒ °èȹ"À̶ó¸ç "EUVÀÇ D·¥ ¾ç»ê Àû¿ëÀº ³»³â²²·Î Àü¸ÁµÈ´Ù"°í ³»´ÙºÃ´Ù.
»ï¼ºÀüÀÚ´Â °æ±âµµ ȼº EUV Àü¿ë °øÀå¿¡ 6Á¶5õ¾ï¿øÀ» ÅõÀÔÇÑ´Ù. ¸ñÇ¥ °¡µ¿ ½ÃÁ¡Àº ¿À´Â 2020³âÀÌ´Ù. ÀÌ´Â ¸Þ¸ð¸®·Î ½ÇÀû ±â·ÏÀ» °¥¾ÆÄ¡¿î »ï¼ºÀüÀÚ°¡ ¹Ì¼¼°øÁ¤ °ÝÂ÷¸¦ ¹ú·Á ÆÄ¿îµå¸®(¹ÝµµÃ¼ À§Å¹»ý»ê) ºÐ¾ß¿¡¼ ¹ÝÀüÀ» ²ÒÇÏ°Ú´Ù´Â ¶æÀ¸·Î Çؼ®µÈ´Ù. ¾Õ¼ »ï¼ºÀüÀÚ´Â ¿ÃÇØ ±Û·Î¹ú ÆÄ¿îµå¸® ½ÃÀå 2À§±Ç¿¡ ¾ÈÂøÇÏ°Ú´Ù´Â ¸ñÇ¥¸¦ ¼¼¿î ¹Ù ÀÖ´Ù.
»ï¼ºÀüÀÚ°¡ EUV¸¦ ÅëÇØ »õ·Ó°Ô µ¹ÀÔÇÏ´Â 7³ª³ë LPP(Low Power Plus) °øÁ¤Àº ±âÁ¸ 10³ª³ë 2¼¼´ë °øÁ¤ ´ëºñ Àü·ÂÈ¿À²À» 35% ¿Ã¸®°í ¸éÀûÀº 40% ÁÙÀÎ °ÍÀ¸·Î ¾Ë·ÁÁ³´Ù.
ÀÌ È¸»ç´Â ÀΰøÁö´É(AI), »ç¹°ÀÎÅͳÝ(IoT) µîÀ¸·Î ±ÞÁõÇÏ´Â ½Ã½ºÅ۹ݵµÃ¼ ¼ö¿ä¿¡ ´ëÀÀÅ°À§ÇØ ¿ÃÇØ ÇϹݱâ 7³ª³ë °øÁ¤ »ý»ê¿¡ Âø¼öÇÑ´Ù´Â ¸ñÇ¥¸¦ ¼¼¿ü´Ù. Ä÷ÄÄ°ú Çù·ÂÇØ »ý»êÇÏ´Â 5¼¼´ë(5G) Åë½Å Ĩ¿¡µµ ÀÌ °øÁ¤ÀÌ Àû¿ëµÉ Àü¸ÁÀÌ´Ù.
EUV´Â ÇâÈÄ ¾÷ü°£ÀÇ ±â¼ú Â÷À̸¦ °áÁ¤Áþ´Â ¹Ù·Î¹ÌÅÍ°¡ µÉ °ÍÀ¸·Î Á¡ÃÄÁø´Ù. Àåºñ º¸À¯ ´ë¼ö, È°¿ë ¼÷·Ãµµ¿¡ µû¶ó ¹Ì¼¼°øÁ¤ÀÇ ½ÂÆа¡ °¥¸± °ÍÀ̶ó´Â ÆÇ´Ü¿¡¼´Ù. ¶Ç ÀÌ °øÁ¤À» ¾î¶»°Ô Àß ÀÌ¿ëÇÏ´À³Ä¿¡ µû¶ó 5³ª³ë, ´õ ³ª¾Æ°¡ 2³ª³ë ÀÌÇÏÀÇ Ãʹ̼¼°øÁ¤À» ½ÇÇöÇÏ´Â ±â¾÷ÀÌ °¡·ÁÁú °ÍÀ̶õ °Ô ¾÷°èÀÇ Áß·ÐÀÌ´Ù.
ÀÌ·± °¡¿îµ¥, SKÇÏÀ̴нº ¿ª½Ã EUV µµÀÔÀ» ÁغñÇÏ°í ÀÖ¾î ÁÖ¸ñµÈ´Ù. SKÇÏÀ̴нº °ü°èÀÚ´Â Áö³´Þ ÁøÇàµÈ ½ÇÀû¹ßÇ¥ ÄÁÆÛ·±½ºÄÝ¿¡¼ "EUV ³ë±¤Àåºñ´Â 2019³â ÀÌÈÄ 1z(10³ª³ë´ë ÃʹÝ) °øÁ¤ºÎÅÍ ÀϺΠȰ¿ëÇÒ °èȹ"À̶ó¸ç "»õ·Î¿î ±â¼ú·Î ³ª¾Æ°¡´Â °üÁ¡¿¡¼ (EUV) µµÀÔÀ» ¹Ù¶óº¸°í ÀÖ´Ù"°í ¹àÇû´Ù.